DataSource.Error: SharePoint: Request failed

Hello everybody, I get the same error in excel when I want to refresh data via power query. 

Interestingly, the data nevertheless is refreshed what can be seen in the tab on the right side of excel.  (see screenshot below)

My problem is an other one: When refresh of data is finish excel shutsdown and after restart of excel I get an information the excel file has to be repaired. But reparaiton of the excel file is not possible. 

This problem occures since I added some steps in my M-Code. When I'm refreshing data in power query itself, i also can see the refreshed data. 

When I'm deleting this last rows of my M code in power query I don't get a mistake and everthing is fine. 

#"Zusammenführte Abfragen1" = Table.NestedJoin(#"Umbenannte Spalten1",{"sfc-Auftragsnummer intern", "Arbeitsgangnr."},#"BelegungFertigung-ZusammenfassungVorgängerFertig",{"Auftrag ", "Arbeitsgangnr."},"BelegungFertigung-ZusammenfassungVorgängerFertig",JoinKind.LeftOuter),
#"Erweiterte BelegungFertigung-ZusammenfassungVorgängerFertig" = Table.ExpandTableColumn(#"Zusammenführte Abfragen1", "BelegungFertigung-ZusammenfassungVorgängerFertig", {"Arbeitsgang startklar"}, {"Arbeitsgang startklar"}),
#"Zusammenführte Abfragen2" = Table.NestedJoin(#"Erweiterte BelegungFertigung-ZusammenfassungVorgängerFertig",{"sfc-Auftragsnummer intern"},#"BelegungFertigung-ZusammenfassungFertigungLetzterFertigerArbeitsgang",{"Auftrag "},"BelegungFertigung-ZusammenfassungFertigungLetzterFertigerArbeitsgang",JoinKind.LeftOuter),
#"Erweiterte BelegungFertigung-ZusammenfassungFertigungLetzterFertigerArbeitsgang" = Table.ExpandTableColumn(#"Zusammenführte Abfragen2", "BelegungFertigung-ZusammenfassungFertigungLetzterFertigerArbeitsgang", {"fertiggemeldeter Arbeitsgang"}, {"fertiggemeldeter Arbeitsgang"}),
#"Umbenannte Spalten2" = Table.RenameColumns(#"Erweiterte BelegungFertigung-ZusammenfassungFertigungLetzterFertigerArbeitsgang",{{"fertiggemeldeter Arbeitsgang", "letzter fertiggemeldeter Arbeitsgang"}}),
#"Neu angeordnete Spalten2" = Table.ReorderColumns(#"Umbenannte Spalten2",{"Arbeitsgang startklar", "letzter fertiggemeldeter Arbeitsgang", "machbarer Start", "machbares Ende", "VK-Auftragsnr.", "VK-Auftragspostionsnr.", "sfc-Auftragsnummer intern", "Artikelnummer", "Artikelbezeichnung", "Arbeitsgangnr.", "Abteilung", "Abteilungsbezeichnung", "Maschinennr", "Maschinenbezeichnung", "restl. Produktionszeit", "Wunsch-Start", "Wunsch-Ende", "AG fertig", "Kurzhinweis für Anzeige", "VK - Preislistenbezeichnung", "VK-Auftragsdatum", "VK-Liefertmin angepasst", "VK-Liefertmin machbar", "Lieferdatum EK-Teil", "Bestätigung Liefertermin EK-Teil", "Arbeitsgang fertig ", "machbarer Termin 1er Sfc-Auftrag", "Auftrag im Rückstand", "Abteilungsgruppe", "Anzahl VK-Aufräge / sfc-Auftrag"}),
#"Gefilterte Zeilen2" = Table.SelectRows(#"Neu angeordnete Spalten2", each ([AG fertig] = "Nein"))
in
#"Gefilterte Zeilen2"

Maybe somone in the forum could help me???

Thx in advance.